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D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器(5SCCM-10SLM)

簡要描述:

D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器(5SCCM-10SLM)
D07-7B 氣體質(zhì)量流量控制器
★高性能價格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★7A型的更新?lián)Q代型

D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器(5SCCM-10SLM)

 

D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器(5SCCM-10SLM)產(chǎn)品用途:

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

產(chǎn)品特點:

★高性能價格比、普通型產(chǎn)品

★橡膠密封、模擬電路的MFC

★7A型的更新?lián)Q代型

★管狀分流,使用壽命長

 

技術(shù)參數(shù):

滿量程流量范圍(N2

5SCCM~10SLM

控制范圍

2~100%F.S.

閥類型(及閥初始狀態(tài))

電磁調(diào)節(jié)閥 (常閉)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S.

線性

±0.5~1.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時間

≤7sec

工作溫度范圍

5~45℃

工作壓差

0.1~0.5MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-8atm.cc/sec He

通道濕材料

316L不銹鋼、密封材料

靜密封材料

氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠)

電連接器

D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale

動密封材料

氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯)

接頭選擇

VCR    1/4”

雙卡套   1/4”或φ6、φ3

重量

1.1Kg

 

詳細(xì)參數(shù):

產(chǎn)品型號D07-7B
產(chǎn)品類型普通型
流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度±1.5%F.S.
重復(fù)精度±0.2% FS
線性±1%F.S.
響應(yīng)時間≤10sec
工作溫度范圍(5~45)°C
耐壓3MPa
密封材料氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號(0~5)VDC
電源±15V
閥類型常閉
溫度系數(shù)- 無 -
零點飄移指標(biāo)- 無 -
電氣連接D sub 15 pins Female
工作壓差范圍(0.1~0.5) MPa
漏率1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分- 無 -
表面粗糙度- 無 -
抗電磁干擾- 無 -
重量1.1Kg

北京中清國投環(huán)??萍加邢薰?www.sdxinchenqyguanl.cn)主營:D07-7B氣體質(zhì)量流量控制器(5SCCM-10SLM)等產(chǎn)品。
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