D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器

簡(jiǎn)要描述：

D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器
★高性能價(jià)格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★管狀分流，使用壽命長(zhǎng)

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D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器

特點(diǎn)：

★高性能價(jià)格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★管狀分流，使用壽命長(zhǎng)

D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器介紹：

質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。

,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	D07-19F
產(chǎn)品類型	抗電磁干擾
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度	±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
響應(yīng)時(shí)間	≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號(hào)	(1~5)VDC,(4~20)mA
電源	24V
閥類型	常閉
溫度系數(shù)	- 無(wú) -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	- 無(wú) -
電氣連接	D sub 15 pins Male
工作壓差范圍	(0.1～0.3) MPa （10slm＜F.S.）,(0.1～0.5) MPa （F.S.≤10slm）
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭
表面化學(xué)成分	- 無(wú) -
表面粗糙度	- 無(wú) -
抗電磁干擾	CE
重量	1.2Kg